最近，韩媒爆出猛料——SK集团联手三星电子、Above Semiconductor搞了个国家级大项目“SiC·GaN功率半导体”！更狠的是，董事长崔泰源直接放线英寸碳化硅衬底！”

　　SiC作为一种高性能的半导体材料，具有耐高温、高电压、高频率等优异特性，在新能源汽车、智能电网、航空航天等领域具有广泛的应用前景。

　　事实上，韩国一直较为重视碳化硅乃至整个第三代半导体的发展。早在2000年韩国便制订了GaN开发计划，政府在2004~2008年投入4.72亿美元，企业投入7.36亿美元以支持韩国进行光电子产业高质量发展，使韩国成为亚洲最大的光电子器件生产国。

　　2010—2012年间韩国投入约4500万美金以推动MOCVD机台实现国产化、引进制程自动化系统并开发高速封装、监测设备。

　　2017年，韩国产业通商资源部（MOTIE）举办研讨会，为了强化系统半导体的竞争力，产、官、学三界联手投资4645亿韩元（4.15亿美元），开发低能源、超轻量和超高速的半导体芯片。这当中1326亿韩元用于开发先进超轻量传感器，837亿韩元投入低耗能的SiC功率半导体，47亿韩元投资超高速存储器和系统整合设计技术。

　　同时，韩国宣布启动“X-bandGaN半导体集成电路”国产化课题。韩国无线通信设施半导体企业RFHIC（艾尔福）被选定为课题牵头企业，SKSiltron将参与SiC基板/GaN树脂的制作，LIGnex1负责系统的验证，韩国电子通信研究院(ETRI)的半导体工厂将被用来进行GaNMMIC的制作。

　　2019年7月，韩国政府宣布，为支援半导体材料以及设备的国产化，每年将提供1兆韩元（约合8.5亿美元）的预算。

　　2021年4月，韩国政府发布了先进功率半导体研发和产能提升计划，将专注于SiC、GaN和氧化镓三种材料的应用技术。该计划提出，到2022年，韩国政府将注资60亿韩元（3499万人民币），用于建设基础设施，与晶圆厂一起设立6至8英寸的制程。

　　2022年2月，韩国新闻媒体报道将在当年韩国的半导体产业投资总额中，用1.3万亿韩元（合计约69亿人民币）用于专注于芯片设计和碳化硅化合物半导体的中小企业。另外1.8万亿韩元（合计95.3亿人民币）用于专注于原材料、零部件、设备与半导体后处理的中小企业。

　　2022年4月，韩国推出其由国内半导体企业、大学、研究所等组成的“新一代晶体工程部”。以开发新一代功率半导体，应对碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)和氧化镓(Ga203)等迅速增加的全球功率半导体市场。其中，LXSemicon、SKsiltron、HanaMaterials、STI等30家功率半导体公司将参与材料、零件、设备的功率半导体开发。

　　2024年，韩国贸易、工业和能源部宣布投资约5.22亿人民币，在釜山建设一座8英寸SiC功率半导体示范基地。这一举措将极大地加强韩国在SiC等化合物功率半导体领域的研发和生产能力，为韩国半导体产业的升级换代提供有力支撑。此外，韩国产业技术规划和评估研究院(KITIE)还计划投资约7.23亿人民币，用于支持SiC及GaN等化合物功率半导体的先进的技术开发项目。

　　SiC的产业链主要由单晶衬底、外延、器件、制造和封测等环节构成。近几年韩国的SiC产业布局速度也在加快，从衬底、外延、器件到模组的SiC全产业链条正在逐渐完善，所有的环节产线都正在建设当中。

　　设备及原料方面，韩国的STI是一家主要研发半导体石英玻璃电炉、SiC半导体生长炉等设备的设备公司。目前STI自主研发了SiC PVT生长炉，成功的开发出纯度为99.9998%的5N级锭粉，实现了韩国关键半导体材料碳化硅(SiC)锭粉的本地化。

　　其衬底企业有SK Siltron、Senic等。SK Siltron是韩国的主要的SiC衬底厂家。2021年2月，SK Siltron宣布已开始生产少量的碳化硅衬底晶片。2019年9月SK Siltron以28.5亿人民币收购了杜邦SiC晶圆事业部。2021年下半年，SK Siltron还买了另一家工厂，该工厂将生产碳化硅晶圆的基础材料，即锭和晶圆。SK Siltron CSS还于2022年11月与美国射频半导体公司Kobo、今年1月与德国英飞凌签署了长期SiC晶圆供应合同。此外，SK还收购了一家高压MOSFET技术的公司Powertechnix，SK成为拥有SiC全产业链的厂商。

　　2023年，上面提到的设备及原料供应商ST也宣布将在釜山市建设一个年产3万片SiC晶圆的新工厂，以支持韩国车规SiC的本土供应。2024年8月，另一家材料及晶圆企业Nano CMS宣布，公司新碳化硅（SiC）材料加工厂已竣工，并于当月开始全面运营，该企业碳化硅颗粒、碳化硅晶锭和6英寸导电型碳化硅晶圆。

　　外延方面，除了SK Siltron外，韩国还有Arche、LX Semicon等厂商。Arche是韩国首个宣布量产SiC外延片的厂商。

　　看得出来，尤其是近几年，韩国向碳化硅发起了猛攻，并已完成碳化硅全产业链的初步建设。此外，韩国拥有现代汽车、三星电子、LG电子等全世界汽车、家电企业，在应用方面也给予了其极大的信心。

　　参考来源：全球半导体观察、行家说三代半、今日半导体、电力电子网、中国粉体网

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